一塔半導(dǎo)體是一家致力于寬禁帶半導(dǎo)體制程設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的綜合性科技公司,產(chǎn)研基地坐落于合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)和湖州市莫干山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)。創(chuàng)始人及核心團(tuán)隊(duì)合作多年,具有多年自動(dòng)化設(shè)備創(chuàng)業(yè)經(jīng)驗(yàn)及上市公司管理經(jīng)驗(yàn)。
公司致力于半導(dǎo)體制程設(shè)備研發(fā),已成功研發(fā)外延生長系統(tǒng)(MOCVD)和退火系統(tǒng)(激光退火/RTP),公司擁有多項(xiàng)技術(shù)方案,包括自主創(chuàng)新SiC/GaN外延生長方案,快速熱處理(RTA)、熱氧化(RTO)、熱氮化(RTN)、離子注入退火、金屬合金、功率芯片背面激光退火等解決方案。持有69項(xiàng)技術(shù)和軟件著作,包括閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)和惰性氣體屏障技術(shù)。
公司將持續(xù)增加研發(fā)投入,致力于涵蓋前道工藝的制程設(shè)備,努力成為中國版“應(yīng)用材料”公司。