崗位職責(zé):
1.負責(zé)FAB光刻模組track工藝技術(shù)工作;
2.推動和制定所負責(zé)track機臺的設(shè)備操作、recipe編輯、monitor控制計劃文件編寫,并持續(xù)改進;
3.進行新材料/新工藝研究,引入和評估新材料,新工藝,新機臺,新功能;
4.產(chǎn)品layer日常維護和品質(zhì)異常的及時分析和處理;
5.參與新產(chǎn)品的工藝轉(zhuǎn)移或開發(fā),負責(zé)Track工藝部分的可行性評估、工藝條件建立和優(yōu)化;
任職資格:
1.微電子、電子工程、材料、化學(xué)、電子技術(shù)相關(guān)理工科等專業(yè)本科及以上學(xué)歷;
2.3年以上FAB光刻工藝經(jīng)驗,有8/12寸功率器件FAB經(jīng)驗優(yōu)先;
3.熟悉光刻track工藝原理和應(yīng)用,track工藝開發(fā)、工藝試驗、異常處理等相關(guān)技能;
4.熟悉主流量測機臺如OVL/CD/THK/particle設(shè)備的基本原理和應(yīng)用;
5.熟悉半導(dǎo)體晶圓廠MES/SPC系統(tǒng)的應(yīng)用和運行邏輯;
6.了解半導(dǎo)體晶圓廠FDC,YMS,APC等高階CIM模塊的應(yīng)用;