一、設(shè)備設(shè)計(jì)與開發(fā)
1、主導(dǎo)半導(dǎo)體特氣/化學(xué)品輸送系統(tǒng)(如Gas Cabinet、VMB/VMP、Liquid Delivery System)及輔助設(shè)備(閥門、管道、傳感器等)的機(jī)械結(jié)構(gòu)、流體系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
2、使用CAD工具(SolidWorks、AutoCAD)完成3D建模、工程圖紙輸出,并確保符合SEMI、ASME、CE等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
3、針對(duì)高純度、高腐蝕性介質(zhì)(如HF、Cl?、SiH?)進(jìn)行材料兼容性分析,選擇耐腐蝕材料(如EP級(jí)不銹鋼、哈氏合金)和對(duì)應(yīng)的閥門等設(shè)計(jì)。
二、工藝安全與合規(guī)
1、設(shè)計(jì)需滿足SEMI S2/S8、NFPA、OSHA等安全規(guī)范,集成泄漏檢測(cè)、緊急切斷(ESD)、尾氣處理(Scrubber)等安全功能。
2、參與HAZOP(危險(xiǎn)與可操作性分析)及FMEA(失效模式分析),優(yōu)化設(shè)備可靠性。
三、跨部門協(xié)作
1、與工藝工程師、廠務(wù)團(tuán)隊(duì)合作,確保設(shè)備與Fab廠潔凈室(Class 1-100)兼容,規(guī)避振動(dòng)、微粒污染風(fēng)險(xiǎn)。
2、支持采購(gòu)部門、項(xiàng)目部門評(píng)估供應(yīng)商(如APTECH、WIKA)零部件技術(shù)規(guī)格,主導(dǎo)關(guān)鍵部件(如調(diào)壓閥、隔膜閥、質(zhì)量流量計(jì))的選型驗(yàn)證。
四、測(cè)試與驗(yàn)證
1、制定設(shè)備FAT(工廠驗(yàn)收測(cè)試)、SAT(現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收測(cè)試)方案,確保氦檢漏率<1×10?? Pa·m3/s等級(jí)。
2、分析設(shè)備在極端條件(高溫、高壓、高真空)下的性能數(shù)據(jù),優(yōu)化設(shè)計(jì)參數(shù)。
五、技術(shù)文檔與標(biāo)準(zhǔn)
1、編制BOM(物料清單)、設(shè)計(jì)規(guī)格書、維護(hù)手冊(cè),確保文檔符合ISO 9001/14001體系要求。
2、研究并應(yīng)用新興技術(shù)(如數(shù)據(jù)模型、數(shù)據(jù)分析、氣體使用量分析)提升設(shè)備智能化水平以及標(biāo)準(zhǔn)化水平。
六、完成上級(jí)交辦的其他工作