崗位職責(zé):
1.獨立負責(zé)EFEM子系統(tǒng)設(shè)計(如晶圓傳輸機械手模塊、腔體氣密結(jié)構(gòu))。
2.主導(dǎo)關(guān)鍵部件選型(直驅(qū)電機、精密導(dǎo)軌、真空密封件)及供應(yīng)商技術(shù)對接。
3.解決設(shè)計中的高精度定位(±0.1mm)、微振動抑制、顆??刂频裙こ虇栴}。
4.主導(dǎo)設(shè)計評審并輸出DFEMA報告,確保符合SEMI S2/S8安全標準。
5.指導(dǎo)初級工程師完成模塊化設(shè)計任務(wù)。
任職要求:
1.3-5年半導(dǎo)體設(shè)備機械設(shè)計經(jīng)驗(EFEM/FOUP Handler/真空設(shè)備優(yōu)先)。
2.精通精密運動機構(gòu)設(shè)計、熱變形補償及防微振結(jié)構(gòu)優(yōu)化。
3.掌握CFD氣流模擬(EFEM內(nèi)部潔凈氣流優(yōu)化)或有限元靜力學(xué)分析。
4.熟悉半導(dǎo)體設(shè)備EMC規(guī)范及靜電防護(ESD)設(shè)計要點。
5.具備跨部門協(xié)作能力(與電氣、軟件團隊協(xié)同調(diào)試傳輸系統(tǒng))。