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中電科電子裝備集團有限公司（以下簡稱電科裝備）成立于2013年，是在中國電子科技集團有限公司二所、四十五所、四十八所基礎(chǔ)上組建成立的二級成員單位，屬中國電子科技集團有限公司獨資公司，注冊資金24.5億元，注冊地為北京亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)。電科裝備是我國以集成電路制造裝備、新型平板顯示裝備、新能源裝備和太陽能光伏產(chǎn)業(yè)為主的科研生產(chǎn)骨干單位，具備集成電路局部成套、系統(tǒng)集成能力和光伏太陽能產(chǎn)業(yè)鏈整線交鑰匙能力。形成了以離子注入機、平坦化裝備（CMP）、電化學(xué)沉積設(shè)備（ECD）等為代表的微電子制造設(shè)備研究開發(fā)與生產(chǎn)制造體系，涵蓋材料加工、芯片制造、先進封裝和測試檢測等多個領(lǐng)域。擁有國家光伏裝備工程技術(shù)研究中心、國防科技工業(yè)微組裝技術(shù)研究應(yīng)用中心、國防科技工業(yè)有源層優(yōu)化生長技術(shù)創(chuàng)新中心等國家級研發(fā)機構(gòu)，設(shè)有博士后工作站和國家級研究中心。電科裝備以解決國防和國民經(jīng)濟電子信息基礎(chǔ)領(lǐng)域制造裝備及工藝自主化、國產(chǎn)化問題，確保自主、健康、持續(xù)發(fā)展為己任；以自主創(chuàng)新引領(lǐng)高端裝備向產(chǎn)業(yè)化、成套化發(fā)展，致力打造引領(lǐng)我國電子制造裝備自主可控發(fā)展的創(chuàng)新型領(lǐng)軍企業(yè)。