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1、主導(dǎo)半導(dǎo)體設(shè)備整機(jī)/關(guān)鍵復(fù)雜部件的污染控制（如顆粒污染、化學(xué)污染、材料釋氣等）的指標(biāo)分解、方案設(shè)計(jì)及測(cè)試驗(yàn)證，設(shè)計(jì)相關(guān)的測(cè)試裝備及測(cè)試驗(yàn)證方法，對(duì)整機(jī)系統(tǒng)的污染指標(biāo)整體負(fù)責(zé)； 2、制定主動(dòng)/被動(dòng)抑制真空系統(tǒng)內(nèi)顆粒物傳輸、化學(xué)物吸附與釋放的設(shè)計(jì)方案，確保設(shè)備整機(jī)/關(guān)鍵部件始終滿足超潔凈管控要求； 3、從事精密設(shè)備中微環(huán)境控制以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，保證設(shè)備中關(guān)鍵區(qū)域的溫度、壓力、污染等關(guān)鍵環(huán)境指標(biāo)的達(dá)成，實(shí)現(xiàn)精密設(shè)備中的超潔凈真空與精密環(huán)境控制； 4、負(fù)責(zé)真空與環(huán)控領(lǐng)域的平臺(tái)能力建設(shè)，開(kāi)展行業(yè)技術(shù)趨勢(shì)分析、技術(shù)合作以及參加相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)會(huì)議等工作，并能夠針對(duì)工作中的成果進(jìn)行相關(guān)規(guī)范、數(shù)據(jù)庫(kù)、專利等平臺(tái)能力交付。